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纳米粒度和ZETA电位分析仪

产品介绍：纳米粒度及zeta电位分析仪是用来测试CMPSlurry纳米颗粒粒度分布和zeta电位值的分析仪，粒度分布会影响药液的CMP效率，zeta电位值的大小用来表征药液整体稳定性，zeta电位的越大，药液稳定性越高。测试SiO2、Al2O3等药液粒度分布D10、D50、D90等参数。原理介绍：1、粒度测量动态光散射(DLS)法原理：当激光照射到分

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技术规格

产品介绍：纳米粒度及zeta电位分析仪是用来测试CMPSlurry纳米颗粒粒度分布和zeta电位值的分析仪，粒度分布会影响药液的CMP效率，zeta电位值的大小用来表征药液整体稳定性，zeta电位的越大，药液稳定性越高。测试SiO2、Al2O3等药液粒度分布D10、D50、D90等参数。

原理介绍：

1、粒度测量

动态光散射(DLS)法原理：当激光照射到分散于液体介质中的微小颗粒时，由于颗粒的布朗运动引起散射光的频率偏移，导致散射光信号随时间发生动态变化，该变化的大小颗粒的布朗运动速度有关，而颗粒的布朗运动速度又取决于颗粒粒径的大小，颗粒大布朗运动速度低，反之颗粒小布朗运动速度高，因此动态光散射技术是分析样品颗粒的散射光强随时间的涨落规律，使用光子探测器在固定的角度采集散射光，通过相关器进行自相关运算得到相关函数，再经过数学反演获得颗粒粒径信息。

2、ZETA电位测量

ZETA电位是表征分散体系稳定性的重要指标ZETA电位愈高，颗粒间的相互排斥力越大，胶体体系愈稳定，因此通过电泳光散射法测量ZETA电位可以预测胶体的稳定性。

测量角度：175°、90°、11°

粒度范围：0.3nm-15μm

ZETA电位范围：-600mV - +600mV

最大电导率：270mS/cm

粒径范围：3nm~120μm

激光器：15/50mW 532nm

上海梓梦科技有限公司

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